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Auteur :  Gautier , Brice Chrétien , Pascal Aguir , Khalifa Houzé , Frédéric Schneegans , Olivier Hoffmann , Johannes Chevalier , Nicolas Borowik , Łukasz Deresmes , Dominique Gournay , Pierre Maillot , Philippe Piquemal , François Titre :  Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nanocircuits , Brice Gautier, Pascal Chrétien, Khalifa Aguir,... [et al.] Notes :  Référence de l'article : r1084 Volume : base documentaire : TIP674WEB Publié dans : Techniques de l'ingénieur. Mesures et tests électroniques Date de publication : 2016/12/10 Cet article passe en revue les différentes techniques fondées sur la microscopie à force atomique, capables de fournir une information électrique avec une résolution spatiale de l'ordre du nanomètre ou de la dizaine de nanomètres. Les grandeurs mesurées peuvent être le courant, la capacité, le champ ou le potentiel électrique. Chaque technique est décrite précisément au moyen d'exemples tirés de la recherche en micro-nanoélectronique, et le périmètre de ses performances est délimité. Les aspects métrologiques de telles mesures appliquées aux nanocircuits sont mis en avant, les sources d'erreur identifiées et des pistes d'amélioration proposées. URL:  https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mesures-analyses-th1/grandeurs-electriques-a-mesurer-42417210/techniques-de-mesure-de-grandeurs-electriques-adaptees-aux-nanocircuits-r1084/ https://doi.org/10.51257/a-v1-r1084   Exemplaires Pas de données exemplaires

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