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Auteur :  May , Gary S. Titre :  Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control , Gary S. May, Costas J. Spanos Editeur :  [Piscataway] , IEEE Hoboken, N.J. , Wiley-Interscience -- c2006 Description :  1 vol. (xix, 463 p.) : ill. ; 25 cm ISBN:  0-471-78406-0 , Rel. 978-0-471-78406-7 Notes :  pcc Références bibliographiques. Index. Sujet :  Semiconductors -- Design and construction Integrated circuits -- Design and construction Process control -- Statistical methods Semiconducteurs -- Conception et construction Circuits intégrés -- Conception et construction   Exemplaires Site Emplacement Cote Type de prêt Statut   Ensea Archives ARCH-5627 Empruntable Disponible

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