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par auteur:
Billard , Alain
Perry , Frédéric
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Auteur :
Billard , Alain
Perry , Frédéric
Titre :
Pulvérisation cathodique magnétron , Alain Billard, Frédéric Perry
Notes :
Référence de l'article : m1654
Volume : base documentaire : TIP553WEB
Publié dans : Techniques de l'ingénieur. Traitements des métaux
Date de publication : 2005/12/10
Cet article détaille le procédé de pulvérisation cathodique magnétron, procédé qui associe l'effet thermique et l'effet mécanique pour l'obtention de la vapeur métallique. Les relations entre les conditions d'élaboration des revêtements de métaux ou alliages et leurs caractéristiques métallurgiques sont établies. Les mécanismes qui prédominent le procédé de pulvérisation cathodique magnétron en condition réactive sont ensuite explicités, notamment les difficultés ainsi que les solutions pour s'en affranchir. Pour illustrer, sont présentées deux méthodes spectroscopiques de diagnostic plasma et d'interférométrie optique autorisant le contrôle in situ du procédé.
URL:
https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/materiaux-th11/traitements-de-surface-des-metaux-par-voie-seche-et-en-milieu-fondu-42360210/pulverisation-cathodique-magnetron-m1654/
https://doi.org/10.51257/a-v1-m1654
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