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Auteur :  Pauleau , Yves , 1942-.... Titre :  Procédés chimiques de dépôt à partir d'une phase gazeuse , Yves Pauleau Editeur :  Paris , Hermès science publ. , Lavoisier -- 2004 Description :  415 p. : fig. ; 24 cm ISBN:  2-7462-0948-9 , br. , 95 EUR Notes :  Bibliogr. p. [403]-411. Index Sujet :  Dépôt chimique en phase vapeur Revêtement de surface Couches minces Génie chimique Activation chimique GAZ -- COMPOSITION CHIMIQUE Photochimie Propriétés de surface Micro-ondes   Exemplaires Site Emplacement Cote Type de prêt Statut   Site de Neuville Réserve n°1 660.2 PAU Prêt Disponible Réserver

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