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Auteur :  Marichy , Catherine Bechelany , Mikhael Titre :  ALD pour des applications capteurs, biocapteurs et membranes , Catherine Marichy, Mikhael Bechelany Notes :  Référence de l'article : re265 Volume : base documentaire : TIP958WEB Publié dans : Techniques de l'ingénieur. Innovations technologiques Date de publication : 2016/11/10 Les performances des capteurs, biocapteurs et membranes ainsi que leurs sélectivités dépendent de la structuration, de la morphologie et de la nature des matériaux utilisés. La technique de dépôt par couche atomique ou ALD apparaît comme une technique de choix de par sa simplicité et l'homogénéité des dépôts, ainsi que du contrôle de l'épaisseur au niveau atomique. Cet article présente l'utilisation de l'ALD pour la fabrication de capteurs, biocapteurs et membranes avec les réalisations possibles en termes de détection et de séparation. L'avantage de cette technique par rapport à des approches plus conventionnelles est mis en évidence par quelques exemples choisis dans la littérature. URL:  https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/innovation-th10/innovations-en-electronique-et-tic-42257210/ald-pour-des-applications-capteurs-biocapteurs-et-membranes-re265/ https://doi.org/10.51257/a-v1-re265   Exemplaires Pas de données exemplaires

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