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par auteur:
Fix , Thomas
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Auteur :
Fix , Thomas
Titre :
Dépôt par ablation laser pulsé , Thomas Fix
Notes :
Référence de l'article : e4216
Volume : Base documentaire : TIP520WEB
Date de l'article : 10/03/2021
Publié dans : Techniques de l'ingénieur. Optique Photonique
Cet article est une revue de la technique de dépôt en couche mince par ablation laser pulsé ou Pulsed Laser Deposition (PLD). Cette technique de dépôt physique par phase vapeur (PVD) consiste à focaliser un laser de haute puissance sur une cible contenant les espèces chimiques du matériau à déposer. Dans le cas d'une épitaxie, la PLD est communément dénommée Laser-MBE. Sont tout d'abord décrites les mécanismes mis en jeu dans la PLD, le dispositif expérimental et les avantages et les inconvénients de la PLD. Ensuite, sont traités les paramètres de dépôt ainsi que quelques techniques avancées relatives à la PLD. Enfin, quelques exemples d'applications de cette technique sont présentés
URL:
https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/electronique-photonique-th13/applications-des-lasers-42661210/depot-par-ablation-laser-pulse-e4216/
https://doi.org/10.51257/a-v1-e4216
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