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par auteur:
Estève , Alain
Djafari Rouhani , Mehdi
Rossi , Carole
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Auteur :
Estève , Alain
Djafari Rouhani , Mehdi
Rossi , Carole
Titre :
Simulation à l'échelle atomique en ALD des oxydes ultra-minces , Alain Estève, Mehdi Djafari Rouhani, Carole Rossi
Notes :
Référence de l'article : re259
Volume : base documentaire : TIP958WEB
Publié dans : Techniques de l'ingénieur. Innovations technologiques
Date de publication : 2016/10/10
La simulation à l'échelle atomique permet de prédire, quantifier et interroger avec force détails la chimie des interactions entre atomes et d'en déduire leur organisation à l'échelle des interfaces. Cet article a pour ambition de présenter une démarche de la simulation à l'échelle atomique qui combine calculs quantiques et simulations par Monte Carlo Cinétique respectivement pour prédire la chimie des processus élémentaires qui gouvernent le dépôt par ALD et pour bâtir une simulation à l'échelle du procédé technologique. Quelques exemples d'étude concernant le dépôt d'oxydes pour la microélectronique et la réalisation de couches barrières pour les matériaux énergétiques seront proposés.
URL:
https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/innovation-th10/innovations-en-materiaux-avances-42186210/simulation-a-l-echelle-atomique-en-ald-des-oxydes-ultra-minces-re259/
https://doi.org/10.51257/a-v1-re259
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