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Bardinal , Véronique

Vergnenègre , Corinne

Daran , Emmanuelle

Pourciel , Jean-Bernard

Doucet , Jean-Baptiste

Camps , Thierry

Microplumes robotisées pour la fabrication de microlentilles Application à la collimation des VCSEL , Véronique Bardinal, Corinne Vergnenègre, Emmanuelle Daran,... [et al.]

Référence de l'article : re138

Volume : base documentaire : TIB257DUO

Publié dans : Techniques de l'ingénieur. Innovations en électronique et TIC

Date de publication : 2010/02/10

Une méthode originale de dépôt localisé par contact, basée sur l'utilisation de micro-plumes robotisées en silicium, a été développée pour fabriquer des matrices de microlentilles en polymère. L'intérêt de cette technique de fabrication à faible coût a été démontré pour la réalisation de lentilles hémisphériques de bonne qualité optique. Ces résultats ont été exploités dans le domaine de la micro-optique intégrée pour la collimation de diodes laser VCSELs. Cet article présente cette nouvelle méthode : la collimation des diodes VCSEL est abordée en premier lieu. Ensuite, le dimensionnement des microlentilles est détaillé, en particulier leur conception et leur sensibilité. Enfin, la fabrication à proprement parler est expliquée et plus précisément la technique de dépôt par microplumes robotisées.

https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/electronique-photonique-th13/optique-instrumentale-42449210/microplumes-robotisees-pour-la-fabrication-de-microlentilles-re138/

https://doi.org/10.51257/a-v1-re138

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