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Titre :  Caractérisation et nettoyage du silicium : caractérisation physico-chimique et nettoyage par voie humide , sous la direction de Annie Baudrant Editeur :  Paris , Hermès science publ. , Lavoisier -- impr. 2003, cop. 2003 Description :  1 vol. (218 p.) : ill. ; 25 cm Collection :  Traité EGEM : électronique, génie électrique, microsystèmes . Electronique et micro-électronique ISBN:  2-7462-0605-6 , rel. , 60 euros Notes :  Bibliogr. en fin de chapitres. Index Sujet :  Circuits intégrés -- Conception et construction Silicium -- Substrats   Exemplaires Site Emplacement Cote Type de prêt Statut   Site des Cerclades Magasins A 043 782 Prêt Disponible Réserver

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