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Gautier , Brice
Chrétien , Pascal
Aguir , Khalifa
Houzé , Frédéric
Schneegans , Olivier
Hoffmann , Johannes
Chevalier , Nicolas
Borowik , Łukasz
Deresmes , Dominique
Gournay , Pierre
Maillot , Philippe
Piquemal , François
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Auteur :
Gautier , Brice
Chrétien , Pascal
Aguir , Khalifa
Houzé , Frédéric
Schneegans , Olivier
Hoffmann , Johannes
Chevalier , Nicolas
Borowik , Łukasz
Deresmes , Dominique
Gournay , Pierre
Maillot , Philippe
Piquemal , François
Titre :
Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nanocircuits , Brice Gautier, Pascal Chrétien, Khalifa Aguir,... [et al.]
Notes :
Référence de l'article : r1084
Volume : base documentaire : TIP674WEB
Publié dans : Techniques de l'ingénieur. Mesures et tests électroniques
Date de publication : 2016/12/10
Cet article passe en revue les différentes techniques fondées sur la microscopie à force atomique, capables de fournir une information électrique avec une résolution spatiale de l'ordre du nanomètre ou de la dizaine de nanomètres. Les grandeurs mesurées peuvent être le courant, la capacité, le champ ou le potentiel électrique. Chaque technique est décrite précisément au moyen d'exemples tirés de la recherche en micro-nanoélectronique, et le périmètre de ses performances est délimité. Les aspects métrologiques de telles mesures appliquées aux nanocircuits sont mis en avant, les sources d'erreur identifiées et des pistes d'amélioration proposées.
URL:
https://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mesures-analyses-th1/grandeurs-electriques-a-mesurer-42417210/techniques-de-mesure-de-grandeurs-electriques-adaptees-aux-nanocircuits-r1084/
https://doi.org/10.51257/a-v1-r1084
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